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简述半导体检测中工艺检测的内容

       半导体检测中工艺检测的主要目的是对半导体工艺的条件与环境进行监控,因而其内容比较繁杂。随着半导体工艺的不断发展,半导体工业的原材料和辅助材料的生产和供应、工艺设备和生产环境的管理等,越来越趋向于专业化和标准化。
       半导体检测的方法越加紧密结合半导体工艺的要求。例如,称为“电子级”、“MOS级”等的纯化学试剂是供半导体和其他电子产品的生产使用;高分辨率的抗蚀剂为半导体工艺而生产的;环境和水质的净化也都有一套相当成熟并且能适应半导体工艺要求的控制和检测方法。
       工艺检测的目的不只是搜集数据,重要的是要把不断产生的大量检测数据及时整理分析,不断发现生产过程中存在的问题,向工艺控制反馈,使之不致偏离正常的控制条件。因而对大量检测数据的科学管理,保障其能够得到准确和及时的处理,是半导体检测中的一项重要关键。
2021/11/15 11:17:16 39 次

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